基本工作原理

材料、半導體專用真空手套箱主要應用于材料半導體的真空無氧氣氛或者環(huán)境下的隔離操作，包括進出料、稱量、測試水分、理化測試、組裝或者裝填。真空手套箱主要由手套箱體（含全視窗鋼化玻璃、鋁制手套口、￠200x670乳膠手套等）、大小過渡艙、照明、移動底架、集成抽、充氣管路等組成。

基本功能

1.視窗采用鋼化玻璃全視窗，手套口開在視窗玻璃上，無觀察死角。

2.視窗法蘭框機加工而成，視窗在高真空狀態(tài)下可以承受大氣壓力而不變形，保證了箱體的氣密性。

3.手套口直徑為￠200mm，手套為開模定制的乳膠手套，壁厚0.8mm，有效防止水氧的分子級滲漏。

4.過渡艙門采用氣彈簧平衡，開啟方便。

5.箱體、過渡艙、手套口抽真空及充氣管路集成，方便使用。

材料、半導體專用真空手套箱基本參數

1.手套箱箱體板料304不銹鋼，外置加強筋。

2.手套口口徑￠200x670mm，配手套口蓋、手套口抽真空管路、手套口密封膠套、固定喉箍。
3.外置LED燈照明（箱體前上方）。
4.箱體內置電源插板220V、1KW。
5.電器控制盒（控制照明及真空泵）。
6.15mm鋼化玻璃（耐腐蝕）全視窗。
7.真空手動球閥控制抽真空管路、充惰性氣體管路、
8.2.5級機械徑向真空表（表盤直徑￠60，顯示相對真空度：-0.1MPa--0MPa）

基本組成和配置

1. 手套箱箱體板料304不銹鋼，外置加強筋。

2.手套口口徑￠200x670mm，配手套口蓋、手套口抽真空管路、手套口密封膠套、固定喉箍。
3.外置LED燈照明（箱體前上方）。
4.箱體內置電源插板220V、1KW。
5.電器控制盒（控制照明及真空泵）。
6.15mm鋼化玻璃（耐腐蝕）全視窗。

7.真空手動球閥控制抽真空管路、充惰性氣體管路、
8.2.5級機械徑向真空表（表盤直徑￠60，顯示相對真空度：-0.1MPa--0MPa）。